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紫外光刻中為何會(huì)出現(xiàn)腳狀圖形呢？

紫外光刻是指通過勻膠、曝光、顯影等一系列工藝步驟，將晶圓表面的特定部分除去而留下帶微圖形結(jié)構(gòu)的薄膜，通過光刻工藝步驟，最終在晶圓上保留的是特征圖形部分。光刻技術(shù)是半導(dǎo)體制造過程的中心，制造工藝中晶圓片需要多次經(jīng)過光刻工藝，光刻工藝的好壞很大程度上決定著半導(dǎo)體器件的圖形分辨率，成品率以及質(zhì)量，因此，光刻被認(rèn)為是半導(dǎo)體制造行業(yè)中最關(guān)鍵的步驟。紫外光刻工藝看似簡單，但在實(shí)際操作過程中，任何一個(gè)微小的環(huán)節(jié)出現(xiàn)誤差就有可能導(dǎo)致圖形的瑕疵、失真甚至損壞。下面為大家列舉一些紫外光刻中腳狀圖...

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3D打印的常規(guī)流程和主要優(yōu)勢(shì)

3D打印的學(xué)名叫做“增材制造”，是一種快速成型的技術(shù)。以三維數(shù)字模型文件為基礎(chǔ)，運(yùn)用塑料或者粉末狀金屬等可粘合材料，通過逐層堆積的方式來制造物體。3D打印的用途大致可以分為三種：概念建模，原型測(cè)試，和直接數(shù)字制造。概念建模和原型測(cè)試是比較傳統(tǒng)的兩種用途，簡單的說就是制作模型，主要功能是做驗(yàn)證，如結(jié)構(gòu)驗(yàn)證，外觀驗(yàn)證，功能驗(yàn)證和裝配驗(yàn)證。直接數(shù)字制造是現(xiàn)在流行的一種趨勢(shì)，即打印出來的成品可以直接作為一個(gè)最終的產(chǎn)品或者是零件直接使用到終端。3D打印的常規(guī)的流程：首先是要有數(shù)據(jù)，如果...

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淺析自動(dòng)顯影機(jī)的原理和系統(tǒng)組成

自動(dòng)顯影機(jī)是將曬制好的印版通過半自動(dòng)和全自動(dòng)的程序?qū)@影、沖洗、涂膠、烘干等工序一次性部分或全部完成的印刷處理設(shè)備。一般由傳動(dòng)系統(tǒng)、顯影系統(tǒng)、沖洗系統(tǒng)、烘干系統(tǒng)、程序控制系統(tǒng)等部分組成。顯影是指用還原劑把軟片或印版上經(jīng)過曝光形成的潛影顯現(xiàn)出來的過程。PS版的顯影則是在印版圖文顯現(xiàn)出來的同時(shí)，獲得滿足印刷要求的印刷版面和版面性能。顯影機(jī)是將曬制好的印版通過半自動(dòng)和全自動(dòng)的程序?qū)@影、沖洗、涂膠、烘干等工序一次性部分或全部完成的印刷處理設(shè)備。自動(dòng)顯影機(jī)一般由傳動(dòng)系統(tǒng)、顯影系統(tǒng)、沖...

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納米機(jī)器人的技術(shù)原理你知道嗎？

所謂納米機(jī)器人就是指能夠在納米尺度上進(jìn)行工作的一種超微型機(jī)器人。納米機(jī)器人不僅本身的體積是納米級(jí)別，而且他們的操作環(huán)境也是在納米等級(jí)，一納米有多少呢？那頭發(fā)絲來舉例，一根頭發(fā)的直徑在40000~50000納米之間，細(xì)胞的平均直徑在1萬~2萬納米之間，而納米機(jī)器人則要比細(xì)胞小得多。納米機(jī)器人的設(shè)想，是在納米尺度上應(yīng)用生物學(xué)原理，發(fā)現(xiàn)新現(xiàn)象，研制可編程的分子機(jī)器人。合成生物學(xué)對(duì)細(xì)胞信號(hào)傳導(dǎo)與基因調(diào)控網(wǎng)絡(luò)重新設(shè)計(jì)，開發(fā)“在體”或“濕”的生物計(jì)算機(jī)或細(xì)胞機(jī)器人，從而產(chǎn)生了另種方式的納...

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